【摘 要】
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1、绪言在元素周期表Ⅲ—Ⅴ族化合物之一氮化铝膜是压电性电介体,而且,因为轻元素能有牢固的结合,音速大,作音响材料,在弹性表面波和光集成电路领域也被受重视。因为这种AlN
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1、绪言在元素周期表Ⅲ—Ⅴ族化合物之一氮化铝膜是压电性电介体,而且,因为轻元素能有牢固的结合,音速大,作音响材料,在弹性表面波和光集成电路领域也被受重视。因为这种AlN膜有密集六方晶格,在和C
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