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飞行时间法测量真空电子偶素产额研究低能离子溅射诱导的缺陷损伤
飞行时间法测量真空电子偶素产额研究低能离子溅射诱导的缺陷损伤
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuzhao123456
【摘 要】
:
利用飞行时间谱直接测量了低能正电子与表面相互作用时的真空Ps产额.该方法比通常的峰法和峰-谷法准确、简单:利用该方法研究了Ar+溅射在Si(100)面上诱导的缺陷损伤及退火行为。
【作 者】
:
朱警生
麻茂生
刘先明
吴建新
周先意
徐纪华
南征
翁惠民
【机 构】
:
中国科学技术大学结构分析开放实验室,中国科学技术大学
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1994年10期
【关键词】
:
飞行时间谱
溅射
缺陷
正电子
Slow positron beam
Positronium fraction
Time-of-flight spectra
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利用飞行时间谱直接测量了低能正电子与表面相互作用时的真空Ps产额.该方法比通常的峰法和峰-谷法准确、简单:利用该方法研究了Ar+溅射在Si(100)面上诱导的缺陷损伤及退火行为。
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