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研究了一种等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装备虚拟装配仿真系统,介绍了系统的装配模型以及装配顺序和路径的规划。建立了虚拟装配仿真场景结构图,并采用细节层次技术对仿真场景进行优化。为了能够实时、方便地修改装配序列和装配路径,准确地描述零部件在装配或拆卸过程中的位置姿态信息,提出了一种虚拟装配的描述语言代码(V代码)和虚拟装配函数(V函数)。最后采用基于包围盒逐层分解的干涉检验方法,实现装配过程的干涉检验。该仿真系统有助于缩短产品开发周期、提高设计质量、降低装配成本。