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冷发射电子束掺杂磷
冷发射电子束掺杂磷
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dy112334
【摘 要】
:
一种新的冷发射电子束掺杂方法已研究成功。这种方法可实现高浓度(C_(max)=2.8×10~(20)/cm~3),超浅结[(x_j)_(min)≤0.1μm],而且损伤比离子注入的小得多。用这种方法制
【作 者】
:
李秀琼
王培大
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1990年12期
【关键词】
:
冷发射电子束
掺杂
磷
集成电路
Cold emitted electron beam
Doping
Super-shallow junction
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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一种新的冷发射电子束掺杂方法已研究成功。这种方法可实现高浓度(C_(max)=2.8×10~(20)/cm~3),超浅结[(x_j)_(min)≤0.1μm],而且损伤比离子注入的小得多。用这种方法制备的太阳能电池控制器件性能很好。
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