【摘 要】
：
针对立式反应室、直流氩等离子体情况,建立硅粉的运动学模型,绘出粉粒沉降时间与粉粒粒度和进气速率的关系曲线,并通过该模型选择进气速率为4～10L/s,粉粒的粒度范围为70～100μm
论文部分内容阅读
针对立式反应室、直流氩等离子体情况,建立硅粉的运动学模型,绘出粉粒沉降时间与粉粒粒度和进气速率的关系曲线,并通过该模型选择进气速率为4～10L/s,粉粒的粒度范围为70～100μm。为了提高粉粒沉降过程中纯化效果,建立并分析鞘层模型中与鞘层厚度、鞘层区离子浓度以及鞘层离子平均动能有关的工艺参数的变化关系并提出一套优化选择放电参数的方法。通过该方法优化工艺参数为反应室总压力为4～6Pa,阴极电压为2000V或是更高,鞘层厚度为1.2～2cm。提纯实验结果表明,硅粉的纯度可由99.6%提高到99.95%。
其他文献
以α-Si3N4为原料,分别以Y2O3-Al2O3和MgO-Al2O3-SiO2两个体系作为烧结助剂,在大气中对氮化硅坯体在1400～1550 ℃进行烧结.研究了烧结温度、烧结助剂体系对氮化硅的氧化程度、氧化产物的影响。结果表明,以MgO-Al2O3-SiO2作烧结助剂有利于α-Si3N4转变为β-Si3N4,且该烧结助剂体系的的抗氧化能力也明显优于Y2O3-Al2O3体系.氮化硅在不同温度烧结时
用多靶射频磁控溅射系统在玻璃基片上制备了SmCo磁性薄膜。并采用控制变量法研究了溅射功率、溅射时间以及溅射气压等工艺参数对薄膜磁性能的影响。结果发现，当磁性层溅射功率
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一.本文介绍了陶瓷型半导
2008年12月6日下午14：30，大连三仪集团创业十周年庆典活动在海事大学礼堂隆重举行。庆典仪式上中国农业科学院研究生院党委书记、常务副院长韩惠鹏教授与三仪集团董事长江国托
利用李群理论对姿态估计问题开展研究,提出一种基于SE(3)扩展卡尔曼滤波姿态估计算法。通过将姿态信息和陀螺仪漂移构造为特殊欧式群SE(3)的元素,推导出了基于SE(3)扩展卡尔
详细研究了乙烯-醋酸乙烯酯共聚物（EVA）和纳米氧化钛（nano-TiO2）复合体系的制备工艺对力学性能、分散状态的影响。研究表明，如果把乙烯基三乙氧基硅烷（硅烷偶联剂）作为一个组分，直接
对催化装置2MCL 型离心气压机密封油大量窜向润滑油系统的问题进行了分析,并对气封结构和油封结构等的改造作了阐述。
采用共晶反应钎焊连接工艺对Mg／Cu异种材料进行连接，研究不同温度对接头微观组织及力学特性的影响。采用扫描电镜对焊接接头的微观组织进行研究，采用拉伸试验机研究接头的力学特
全过程工程咨询主要指的是以提升业主方项目管理为目的工程咨询工作,此工作不是以取代业主进行项目管理为目的,而是为了提高业主方的项目管理水平。项目管理水平直接决定着工
通过对我国七大畜牧区特色动物、当家食草家畜品种的分析，结合当地气候条件和地形特点，分析评价了我国草地动物地带性分布规律，并提出发展草食劝物生产时，应依据动物的地带性分布