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在分析粗精动控制系统的耦合及轨迹分配等问题的基础上，介绍叠层试验台高速高精度直线运动的实现：采用永磁直线交流电动机驱动粗动台，粗动台行程大但带宽较低；音圈电动机驱动精动台，精动台带宽高但行程较小。用绝对空间闭环方式实现试验台的粗精运动控制，这种方法可以忽略粗动台对精动台的惯性力扰动，精动台直接跟踪给定轨迹，粗动台跟踪精动台的运动轨迹防止精动台发生运动饱和。试验结果表明，精动台显著提高了系统的定位和跟踪精度，该控制方法使叠层试验台的高速高精度运动得以方便实现。