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随着微电子元件的广泛应用,静电危害现象日益突出。ESD是一种很难重复的随机过程。在这种情况下,本文根据IEC61000-4—2标准,构建等效人体.金属模型的静电仿真电路,对放电过程进行仿真分析,为静电发生器放电回路结构及元件参数的确定及参数对ESD放电过程的影响提供一定的理论参考依据,还为更好的了解ESD过程的特点及影响因素,从而进行有效的ESD保护等研究方面提供了便捷、可靠的研究手段。仿真结果表明静电波形参数均在标准误差范围之内。由此证明模型参数设计正确,对ESD过程分析合理。