大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

来源 :南京航空航天大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangmx198808

【作者】

：

张晓峰，林彬，ZHANGXiao-feng，LINBin

【出处】

：

南京航空航天大学学报

【发表日期】

：

2005年z1期

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