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基于催化燃烧式气体传感原理，提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构载体，采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻，涂敷Al2O3-ZrO-Th0-Pd和Al2O3-ZrO—Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂，实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成，制作出氢气传感器。测试结果表明：传感器可实现体积分数0-40000×10^-6氢气检测，具有线性输出特性，温度为5～45℃的传感器的最大零点输出优于±1．0％。