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Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xp509

【摘 要】

：

Diamond-like carbon (DLC) films have excellent mechanical and chemical properties similar to those of crystalline diamond giving them wide applications as prote

【作 者】

：

Huang  Yujie  Wang  Qi  Wang 

【机 构】

：

KeyLaboratoryforLiquid-SolidStructuralEvolutionandProcessingofMaterialsMinistryofEducation,ShandongE

【出 处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2012年2期

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China (Nos. 50972078 and 51002090),,the Outstanding Young Scientist Research Award Fund of Shandong Province (No. BS2010CL028)

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Diamond-like carbon (DLC) films have excellent mechanical and chemical properties similar to those of crystalline diamond giving them wide applications as protective coatings. So far, a variety of methods are employed to deposit DLC films. In this study,

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