【摘 要】
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薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度,是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,绿色建筑材料国家重点实验室,
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薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度,是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析,发现直方图法能够有效避免人为因素的影响,适用于10nm以上的薄膜厚度的测量,是目前最适于定为薄膜厚度测试标准的方法。
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