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研究了氢气还原ITO废靶工艺的条件,考察了温度、时间以及氢气流量对还原率的影响。通过响应曲面实验设计,建立了氢气还原ITO废靶过程的回归模型,此模型能较好的反映还原率与多个影响因素之间的关系。经过优化所获得的实验条件为:温度800℃、时间120min、氢气流量3L/min,在此工艺条件下的还原率达96.48%,与模型预测值相近。