纳米TiO2薄膜微阵列电极的制备与紫外光电阻特性表征

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sogood1918
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采用溶胶凝胶法在叉指型微阵列电极表面制备了TiO2纳米薄膜,并对薄膜形貌、厚度以及溶胶粒子尺寸进行了表征,研究了温度、紫外光照对纳米TiO2薄膜微阵列电极的电阻的影响。结果表明,溶胶粒子平均粒径在9nm,单次提拉制备的TiO2纳米薄膜膜厚为120nm,两次提拉薄膜厚度200nm.纳米TiO2薄膜微阵列电极电阻呈现半导体特性,大气环境中,紫外光照下纳米薄膜微电极的低温电阻较无光照时明显减小,表现出紫外光敏感特性。随着温度的升高,紫外光照下的电阻与无光照时电阻差值逐步减小,表明温度对纳米薄膜电阻有更大的影响。
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