【摘 要】
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采用ＤＣ反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法，在高速钢基体上沉积Ｃ３Ｎ４／ＴｉＮ复合超硬薄。用Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）分析了氮化碳的元素组成。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）和透射电子衍射（ＴＥＤ）分析证明，氮化碳以硬质结晶相存在。
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采用ＤＣ反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法，在高速钢基体上沉积Ｃ３Ｎ４／ＴｉＮ复合超硬薄。用Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）分析了氮化碳的元素组成。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）和透射电子衍射（ＴＥＤ）分析证明，氮化碳以硬质结晶相存在。复合的显微硬度Ｈｖ＝３５．１￣４６．７ＧＰａ，划痕试验表明，薄膜在高速钢上的附着力达到ＪＢ／Ｔ８３６５－９６标准。
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