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利用完全抑制网络结构(FCN)对氢在晶碳(a-C:H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密a-C:H膜条件是H、SP^2C和SPT^3C在其三元相图中应在一个三角形区域内。大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合。在a-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量公式理论计算得出。