Density changes with substrate negative bias for ta-C films deposited by filter cathode vacuum arc

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：naruia

【摘要】

：

Specular X-ray reflectivity (XRR) measurements were used to study the density and cross-section information of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films deposit

【作者】

：

TAN Man-lin ZHU Jia-qi HAN Jie

【机构】

：

CenterofCompositeMaterials

【出处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

TA-C FILMS SUBSTRATE negative BIAS X-ray REFLECTIVITY DENSITY

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Specular X-ray reflectivity (XRR) measurements were used to study the density and cross-section information of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films deposited by filter cathode vacuum arc(FCVA) system at different substrate bias. According to the corr

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