论文部分内容阅读
据报导,日本旭硝子公司研究成降低金属薄膜电阻的一种方法,其过程是将真空系统(10-4～10乇)中蒸发上金、银或铜薄膜的基板,在同一真空系统中使其温度保持在10～30℃,然后用1000～2000℃的辐射热源对金属薄膜进行辐射热处理。金、银、铜等金属薄膜的电特性和光学特性以及有无辐射热处理的几种数值的比较列于下表。