三维成像用128×2线性模式APD焦平面探测器设计

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设计了一种用于激光三维成像的128×2线性模式APD焦平面探测器,器件包括硅基APD焦平面阵列和读出电路.硅基APD焦平面阵列采用拉通型n+-p-π-p+结构,像元中心距为150 μm,工作在线性倍增模式.读出电路采用单片集成技术,将前置放大电路、TDC计时电路和ADC等功能模块集成在单一硅片上.整个线性模式APD焦平面探测器可实现128×2阵列规模的激光信号并行检测,并采用LVDS串口输出激光脉冲信号的飞行时间信息和峰值强度信息.测试结果显示,该线性模式APD三维成像探测器可同时获取时间信息和强度信息,成像功能正常.
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