【摘 要】
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本文介绍一种能用于动态测量的高精度数字式测微系统。该系统采用电荷耦合线型象感器件(CCLID)作为尺度,并利用了计量光栅莫尔条纹的位移放大作用,理论测量精度可达10~(-2)微
【机 构】
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西北电讯工程学院,西北电讯工程学院,
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本文介绍一种能用于动态测量的高精度数字式测微系统。该系统采用电荷耦合线型象感器件(CCLID)作为尺度,并利用了计量光栅莫尔条纹的位移放大作用,理论测量精度可达10~(-2)微米数量级。测量结果可实时地用数字显示。
This article describes a high-precision digital micrometer system that can be used for dynamic measurements. The system uses the charge coupled linear image sensing device (CCLID) as a scale, and utilizes the displacement amplification of the moire fringes of the measuring grating. The theoretical measurement accuracy can reach the order of 10 -2 micrometers. The measurement results can be digitally displayed in real time.
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