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本文介绍了液晶显示器制造装置的市场动态；对ＬＣＤ用曝光机在生产工艺中的地位进行了分析，总结了各类曝光机的特点；并对几种典型的曝光机的独特技术进行了剖析，提出了选准突破口发展我国ＬＣＤ装置业的设想。
液晶显示器用曝光装置
【摘 要】
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本文介绍了液晶显示器制造装置的市场动态；对ＬＣＤ用曝光机在生产工艺中的地位进行了分析，总结了各类曝光机的特点；并对几种典型的曝光机的独特技术进行了剖析，提出了选准突破口发展我
【机 构】
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电子工业部第４５研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年1期
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