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半导体光电薄膜的制备 ,是半导体光电器件最重要和最基本的工艺过程。半导体光电薄膜的分析和检测是器件开发中必须首先要解决的重要问题之一。文章介绍了半导体光电薄膜的分析和检测以及分析技术和仪器设备的发展现状。
半导体光电薄膜的分析和检测
【摘 要】
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半导体光电薄膜的制备 ,是半导体光电器件最重要和最基本的工艺过程。半导体光电薄膜的分析和检测是器件开发中必须首先要解决的重要问题之一。文章介绍了半导体光电薄膜的分
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年A03期
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