论文部分内容阅读
简要叙述了微电子机械系统研究中的多单元体－微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。 对其应用前景作了讨论并提出了一些超前的设想。
MEMS研究的新进展—微型系统及其发展应用的研究
【摘 要】
：
简要叙述了微电子机械系统研究中的多单元体－微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。 对其应用前景作了讨论并提出了一些超前的设想。
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械研究所微机械研究室
【出 处】
：
光学精密工程
【发表日期】
：
1997年1期
其他文献
接地电阻测试仪是电力行业中一种比较常用的计量器具,它是检验测量接地电阻的常用仪表,传统的接地电阻测试仪检定系统大多使用纯电阻进行检定,并且此种检定只适合实验室的检
高效稳定的电能计量模式是电力智能营销管理系统研究的重要课题，是电力系统分配调度系统构筑的重要载体。随着计算机技术、电力电子技术、网络通信技术发展的不断成熟，利用低压
<正>2015年10月11日,国务院办公厅以"国办发〔2015〕75号"文公布《国务院办公厅关于推进海绵城市建设的指导意见》,提出"综合采取‘渗、滞、蓄、净、用、排’等措施,最大限度
目的 分析并研究老年慢性支气管炎患者在护理当中优质化护理服务的临床护理效果.方法 本研究所选择的研究对象来自我院所接收的老年慢性支气管炎患者,选择的患者都来自我院,2
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
专业导论课开设的必要性受到众多高校的认可。结合湖北科技学院数学与应用数学专业的新生学情,从课程性质与目标、课程内容、课程教学和考核等方面对专业导论进行系统的课程
内科学教学中,血液病学专科性强、理论知识难度大,进入临床实习阶段的学生由于面临考研和就业的双重压力,缺乏学习主动性和积极性,普遍存在基础薄弱、临床教学质量不佳的现象
反式脂肪酸的危害越来越被人们所熟知。反式脂肪酸的形成机理也各不相同。食品中的反式脂肪酸主要来自于反刍动物代谢过程中生成与食品加工过程中形成的反式结构的脂肪酸。反