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三维封装铝基板的形变控制研究
三维封装铝基板的形变控制研究
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sjmaomaoqiu
【摘 要】
:
采用选择穿透性阳极氧化方法制作了一种阵列型三维封装铝基板。利用ANSYS有限元法分析了三维封装铝板的应变,并从铝的纯度和掩膜两个方面优化设计,有效控制了铝板穿透性氧化
【作 者】
:
刘凯
任卫朋
丁蕾
【机 构】
:
上海航天电子通讯设备研究所
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2019年25期
【关键词】
:
三维封装
阳极氧化铝
有限元分析
应变
three-dimensional packaging
anodic aluminum oxide
finite ele
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采用选择穿透性阳极氧化方法制作了一种阵列型三维封装铝基板。利用ANSYS有限元法分析了三维封装铝板的应变,并从铝的纯度和掩膜两个方面优化设计,有效控制了铝板穿透性氧化后的形变和裂纹。
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