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采用选择穿透性阳极氧化方法制作了一种阵列型三维封装铝基板。利用ANSYS有限元法分析了三维封装铝板的应变,并从铝的纯度和掩膜两个方面优化设计,有效控制了铝板穿透性氧化后的形变和裂纹。
三维封装铝基板的形变控制研究
【摘 要】
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采用选择穿透性阳极氧化方法制作了一种阵列型三维封装铝基板。利用ANSYS有限元法分析了三维封装铝板的应变,并从铝的纯度和掩膜两个方面优化设计,有效控制了铝板穿透性氧化
【机 构】
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上海航天电子通讯设备研究所
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2019年25期
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