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X射线荧光光谱(XRF)分析是在高真空下进行的,一旦真空泵出现故障,整机将无法工作。ARL8420~+XRF仪配备的是法国的ALCATEL 2012A型单相泵,一般光谱室真空可达3Pa以下,初级室在无样品的情况下,从关闭闸门到真空度到达绿区不超过40s。真空泵出现故障导致真空度下降甚至不致真空,直接影响样品分析的速度和精度。故障原因主要有下列几种。