离子注入后短时间硼退火模型

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【摘要】

：

离子注入后短时间硼退火模型＝ＡｍｏｄｅｌｆｏｒＢｏｒｏｎｓｈｏｒｔｔｉｍｅａｎｎｅａｌｉｎｇａｆｔｅｒｉｏｎｉｍ－ｐｌａｎｔａｔｉｏｎ［刊．英］／ＨａｎｅＭ．…∥ＩＥＥＥＴｒａｎｓ．Ｅｌｅｃ－ｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓ．－１９９３．４０（７）．１２１５～... Short-time boron after annealing ion implantation model = AmodelforBoronshorttimeannealingafterionim-plantation [Issue. E

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

离子注入掺杂剂退火工艺退火过程体源点缺陷再现实验

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