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真空镀膜机使用中出现真空摆动故障，原因是真空镀膜机抽气系统抽气能力不稳定与压升率达不到所致。提出维修方案，对所出现的故障逐一维修。
磁控溅射镀膜机真空摆动故障分析及维修
【摘 要】
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真空镀膜机使用中出现真空摆动故障，原因是真空镀膜机抽气系统抽气能力不稳定与压升率达不到所致。提出维修方案，对所出现的故障逐一维修。
【机 构】
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中国航空工业集团公司北京航空材料研究院
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2013年10期
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