【摘 要】
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本文叙述了口径为325mm熔石英标准球面材料及表面的检测结果。哈特曼检验结果表明球面表面均方根误差约为1/50λ。峰谷值差为1/30λ,是一块精度相当高的标准球面镜。结果与阴
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本文叙述了口径为325mm熔石英标准球面材料及表面的检测结果。哈特曼检验结果表明球面表面均方根误差约为1/50λ。峰谷值差为1/30λ,是一块精度相当高的标准球面镜。结果与阴影图也很一致,完全可用于检验高精度平面镜。
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