耗尽层对结深测量的影响

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要准确地测量结深不是一件容易的事,影响测量准确性的因素很多,其中有一因素一直未被重视,那就是耗尽层对结深的影响,众所周知,有P-N结存在必有耗尽层存在.耗尽层是电中性的,而一般结深测量方法中都要对P-N结进行染色,染色过程是电化学反应过程,而处于电中性的耗尽层没有可动电荷可参予反应,因此不管是P型染色剂还是N型染色剂都对它不起作用,如果先后使用二种染色剂对同一P-N结进行染色,那么你就能看到中间有一未染色区,这就是耗尽层(图1).对这未染色区宽度进行仔细测量,就会发现它的值小于理论计算值,这是因为在染色过程中要加光照, To accurately measure the junction depth is not an easy task, many factors affect the accuracy of measurement, one of which has not been taken seriously, that is depletion layer on the junction depth, as we all know, PN junction there must be depleted Depletion layer is electrically neutral, and the general junction depth measurement method should be PN junction staining, the dyeing process is the electrochemical reaction process, and in the neutral charge depleted layer no moving charge can be So it does not matter whether it is a P-type dye or an N-type dye. If two kinds of stains are used to dye the same PN junction, then you can see that there is an unstained area in the middle, which is Depleted layer (Figure 1) .This undyed area carefully measured, you will find its value is less than the theoretical value, it is because in the dyeing process to add light,
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