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期刊论文
FCVA沉积TiAlN薄膜的工艺研究
FCVA沉积TiAlN薄膜的工艺研究
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:redfox1234
【摘 要】
:
采用磁过滤阴极真空弧源(FCVA)沉积技术,在高速钢(HSS)基体上沉积TiAlN薄膜,用显微硬度计测定TiAlN薄膜的硬度和厚度,用X射线衍射(XRD)分析技术进行TiAlN薄膜的相分析并进行
【作 者】
:
谷祥帅
周友龙
夏侯良
黄楠
孙鸿
【机 构】
:
西南交通大学西南交通大学610031成都市
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2007年7期
【关键词】
:
FCVA
硬度
XRD
摩擦系数
FCVA hardness XRD coefficient of friction
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采用磁过滤阴极真空弧源(FCVA)沉积技术,在高速钢(HSS)基体上沉积TiAlN薄膜,用显微硬度计测定TiAlN薄膜的硬度和厚度,用X射线衍射(XRD)分析技术进行TiAlN薄膜的相分析并进行了摩擦磨损实验,为在刀具表面沉积TiAlN薄膜打下较好的工艺基础。
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