【摘 要】
：
清洗用氟化气体材料的开发近年来，以半导体的高集成化为代表的电子工业在技术革新方面取得了显著的成绩，其中新材料的使用和新技术的产生是该领域得以发展的关键。在半导体制造
论文部分内容阅读
清洗用氟化气体材料的开发近年来，以半导体的高集成化为代表的电子工业在技术革新方面取得了显著的成绩，其中新材料的使用和新技术的产生是该领域得以发展的关键。在半导体制造业中，化学汽相淀积（ＣＶＤ）和物理汽相淀积（ＰＶＤ）等等薄膜制备技术是必不可少的。在用...
Development of Fluorinated Gas Materials for Cleaning In recent years, the electronics industry represented by highly integrated semiconductors has made remarkable achievements in technological innovation. The use of new materials and the emergence of new technologies are the keys to the development of this field. Thin film fabrication techniques such as chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor deposition (PVD) are indispensable in the semiconductor manufacturing industry. Using...
其他文献
从组成控制、烧结工艺这两个主要技术环节，讨论影响生产稳定性，一致性的某些因素。
From the composition control, sintering process of these two main technical aspects,
利用MMU-5G销-盘式端面磨损试验机考察了干摩擦条件下Si3N4-hBN复合陶瓷与1Cr18Ni9Ti配副时的摩擦磨损性能,分别采用扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描显微镜(LSM)、X光电子能谱
一、热爱祖国,忠于人民,坚持四项基本原则,全心全意为人民服务,为社会主义服务,正确地贯彻“百花齐放,百家争鸣”方针,为建设社会主义精神文明多做贡献。
I. Loving the mo
现有的调制解调器（ＭＯＤＥＭ），没有由电话振铃启动工作电源的功能；当它自动应答的是通话呼叫时，无本机振铃唤人和给对方等待提示的功能，这使得将其应用于工业控制系统的自动数据通信等场合时
本文是乔姆斯基在一次外语教学讨论会上的发言稿,收集在“Chomsky:se=lected Readings”(J.P.B.Allen andP.V.Buren)。文中乔氏对语言学以及心理学研究的成果能否直接运用到
2009年3月29日~4月2日,中国石油油气田开发工作会议在北京召开。会议总结了中国石油天然气股份有限公司上市以来油气田开发工作的成绩和经验,分析了金融危机形势下油气开发面
文章论证了农村体育对建设社会主义新农村的意义,第一,农村体育是新农村建设的重要组成部分;第二,农村体育有利于提高广大农民的整体素质;第三,农村体育有利于发展农村体育产
幼儿期的孩子活泼好动,对任何事都充满了好奇心。什么都想看一看、摸一摸。但幼儿正是身心发育的阶段,身体的协调性较差,缺乏一些必要的生活经验,自我保护的意识较差,常常不
以新型荧光纳米材料——碳点为探针,基于Cu2+对碳点的荧光猝灭作用,建立了测定Cu2+的新方法.在优化的最佳条件下,体系的相对荧光强度与铜离子的浓度呈良好的线性关系:I0/I=1.
一、爱心凝聚班集体rn教师的爱是一种保护,一种唤醒,更是一种沟通的桥梁和纽带,爱会使整个班集体充满生机和活力.记得曾带的班级有个叫李x的学生家庭贫困,同学为她捐款捐物,