痕量PGMEA气体的GC-MS分析

来源 :分析测试学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：songchanglei

【摘要】

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PGMEA(Propylene Glycol Methyl Ether Acetate)是一种电子工业用光刻胶的溶剂.由于运输、管道泄漏等原因,会有微量PGMEA蒸气渗入净化厂房内空气中,影响半导体制品的质量,必

【作者】

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胡耀铭

【机构】

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复旦大学

【出处】

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分析测试学报

【发表日期】

：

2001年z1期

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PGMEA(Propylene Glycol Methyl Ether Acetate)是一种电子工业用光刻胶的溶剂.由于运输、管道泄漏等原因,会有微量PGMEA蒸气渗入净化厂房内空气中,影响半导体制品的质量,必须严格控制在10μg/m3以下.本文用活性炭对某电子工厂净化厂房内空气中的PGMEA气体进行吸附采样,二硫化碳溶剂脱附,采用选择离子检测(SIM),并用内标法进行定量分析.结果表明该分析方法能满足对痕量PGMEA气体的监控要求.……

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