【摘 要】
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采用热分解法制备Ru-Ti-Ir-Ta四元金属氧化物钛阳极涂层。通过XRD、SEM、EDX和HRTEM等测试手段分析不同温度下钛阳极涂层的物相组织结构、晶粒大小、组元分布和微观形貌。结
【机 构】
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福州大学物理与信息工程学院,福州大学材料研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划资助项目（2007AA03Z325）, 福建省重点科研资助项目（2007I002）
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采用热分解法制备Ru-Ti-Ir-Ta四元金属氧化物钛阳极涂层。通过XRD、SEM、EDX和HRTEM等测试手段分析不同温度下钛阳极涂层的物相组织结构、晶粒大小、组元分布和微观形貌。结果表明：在500℃获得的涂层物相主要由等轴状的Ti基（Ti,Ru,Ir）O2和Ir基（Ir,Ti,Ru）O2金红石固溶体构成,晶粒尺寸分别约为15nm和8nm,涂层形貌呈典型＂泥裂状＂,涂层表面出现一次裂纹和二次裂纹;在700℃获得的涂层组成相以Ir基（Ir,Ti,Ru）O2和Ti基（Ti,Ru,Ir）O2金红石固溶体为主,
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