【摘 要】
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用直流等离子化学气相沉积法在硬质合金上沉积ＴｉＮ膜，研究了沉积工艺参数对膜层结构、膜层成分、断口形貌和膜层硬度的影响．结果表明，在５００～７００℃温度范围内，可以沉积出单相的ＴｉＮ膜，膜层结构致密
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用直流等离子化学气相沉积法在硬质合金上沉积ＴｉＮ膜，研究了沉积工艺参数对膜层结构、膜层成分、断口形貌和膜层硬度的影响．结果表明，在５００～７００℃温度范围内，可以沉积出单相的ＴｉＮ膜，膜层结构致密，硬度可达Ｈｖ２１５６０Ｎ／ｍｍ２．在５００片刀片装炉量的情况下，沉积室中不同部位的刀片均可得到相同结构和优异性能的膜层，因此采用此沉积法可以实现批量化生产．
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