【摘 要】
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铁电 -硅微集成系统 ( FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物 ,在微电子机械系统( MEMS) ,存储器等多方面具有极为重要的应用价值 .本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方
【机 构】
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清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084
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铁电 -硅微集成系统 ( FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物 ,在微电子机械系统( MEMS) ,存储器等多方面具有极为重要的应用价值 .本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方法和几种典型的 FSMIS应用方向 ,并对 FSMIS领域的未来发展作出展望 .
Ferroelectric silicon micro-integrated system (FSMIS) is a product of the combination of ferroelectric materials and silicon technology, which has extremely important application value in microelectromechanical systems (MEMS), memory, etc. This article describes several important silicon Based ferroelectric film preparation methods and several typical FSMIS application direction, and prospects the future development of FSMIS field.
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