Thermodynamic Analysis of In-As-Sb-C-H System and Design of MOVPE Process for In(As,Sb) S

来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户：huohuoshan000

【摘要】

：

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｈｅＩｎ（Ａｓ，Ｓｂ）ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓａｒｅｉｎｔｅｒｅｓｔｉｎｇｄｕｅｔｏｔｈｅｉｒｐｏｓｉｂｌｅｕｓｅｉｎｉｎｆｒａｒｅｄｌｉｇｈｔｓｏｕｒｃｅｓ，ｄｅｔｅｃｔｏｒｓａｎｄｍｉｃｒｏｗａｖｅｄｅｖｉｃｅ...

【作者】

：

李静波张维敬李长荣杜振民

【机构】

：

UnivofScienceandTechnology

【出处】

：

Rare Metals

【发表日期】

：

1998年3期

【关键词】

：

THERMODYNAMIC ANALYSIS MOVPE In AS SB Thermodynamic analysis MOVPE In As Sb

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