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采用磁约束电感耦合等离子体增强溅射法（ICP—PVD）在Si（100）和石英玻璃衬底上沉积了Zn0.95Co0.05O薄膜。XRD谱显示薄膜具有较强的（002）衍射峰，表明Zn0.95Co0.05O薄膜为c轴择优取向生长；透过光谱显示Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的透过性，其在可见光和红外波段的平均透过率大于80％，吸收光谱表明Co^2＋取代了Zn^2＋处于四配位晶体场中；喇曼光谱证明Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的六方纤锌矿结构；室温PL谱测量发现在可见光的蓝光波段和绿光波段存在较宽的发