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集成电路发展到当前纳米级的工艺水平，互连线的宽度已经远低于掩膜光刻工艺中所使用的光波长，使光刻后互连线的外形与设计尺寸不一致，其中一个重要特征就是导线边角圆化，这给准确提取互连线的寄生参数带来了困难。本文运用有限元求导的方法，求出互连线寄生电容对于其边角尺寸的敏感度，为设计后期电容的准确提取和分析提供支持。算例表明，这种方法计算出的电容完全满足工程上的精度要求，可以成为集成电路设计的一个辅助工具。