【摘 要】
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用射频溅射法制备了金属／半导体FeX(In2O3)1-X颗粒膜。用X射线衍射（XRD），电子衍射（ED），透过电子显微镜（TEM）分析样品的微结构；用能散X射线谱（EDAX）分析样品成份。实验结果表明：纳米尺度的Ｆe
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用射频溅射法制备了金属／半导体FeX(In2O3)1-X颗粒膜。用X射线衍射（XRD），电子衍射（ED），透过电子显微镜（TEM）分析样品的微结构；用能散X射线谱（EDAX）分析样品成份。实验结果表明：纳米尺度的Ｆe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中，退火可使In2O3晶化。其晶格常数与Fe的体积份数有关；退火可使Fe颗粒长大，晶格完整度有所提高，由超顺磁性变为铁磁性。
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