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目的研究热阴极直流放电氢等离子体中电子及活性粒子输运过程。方法Monte Carlo模拟方法。结果建立了电子及活性粒子在氢等离子体辉光放电中的输运模型，得到了荷能粒子在放电空间的能量分布，空间分布以及发生各种化学反应的频率分布。结论模拟结果与有关文献报道的实验结果对比，取得了较好的一致性，可利用于更多有氢等离子体参与的实验研究。