平面集成微透镜阵列的研制

来源 :浙江工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z19910620
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介绍了集成微透镜阵列光学器件,建立了开孔式离子扩散的数学模型,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数,并研制成功该器件且给出其光学特性参数。
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