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期刊论文
ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备
ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mj3140
【摘 要】
:
介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上
【作 者】
:
刁庚秀
陈文彬
【机 构】
:
电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
ITO薄膜
溶胶-凝胶
光电特性
ITO thin film
sol-gel
optical and electrical properties
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介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上,电阻率最低可达0.15 Ω·cm.
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