【摘 要】
：
<正>一、引言 自从五十年前晶体管发明以来,微电子技术无论是从其发展速度和对人类社会生产和生活的影响,都可以说是科学技术史上空前的。微电子技术支撑的微电子产业飞速发
【机 构】
：
北京大学微电子研究所,北京大学微电子研究所北京100871,北京100871
论文部分内容阅读
<正>一、引言 自从五十年前晶体管发明以来,微电子技术无论是从其发展速度和对人类社会生产和生活的影响,都可以说是科学技术史上空前的。微电子技术支撑的微电子产业飞速发展,成为信息产业的基础,其全球的销售额高达2000亿美元。三十多年来,为了提高电子集成系统的性能,降低成本,器件的特征尺寸不断缩小,制作工艺的加工精度不断提高,同时硅片的面积也在不断增大。IC芯片的集成度大体每隔一年半增长一倍,性能随之提高,IC的特征尺寸
其他文献
Ternary complexes of europium and terbium with benzoic acid and 1, 10-phenanthroline [RE(BA)3phen] (BA=benzoate phen=1,10-phenanthroline) were introduced into a
与国际专利分类体系(IPC)相比,合作专利分类体系(CPC)具有更为细化、精准的分类特点,文献标引量适中,具有较好的降噪效果,有助于更加高效的检索。本文通过对比制浆领域CPC与I
2014年10月，苏南自主创新示范区成为第5个国家自主创新示范区，苏南国家自主创新示范区不是以一个城市或一个国家高新区为主体，而是由9个国家高新区组成，横跨了南京、无锡、常州、
Using CaCO3, metal oxides (all dissolved by nitric acid) and tetraethoxysilane Si (OC2H5 )4 (TEOS) as the main starting materials, Ca2Y8 (SiO4 )6O2: Eu3+ phosph
网络环境下的PBL容易增加学生的认知负荷，导致学习效率低下。“学校花园的设计”PBL专题网站在分析减轻认知负荷策略的基础上，提出在网站开发中借助技术手段引导和辅助学生进行
数字电视技术和交互技术的推广应用为教育电视带来了新的发展机遇，交互式数字教育电视节目成为教育领域新的知识媒体，改变了教育电视原有的单向传播方式，支持学习者进行交互式的
模块化多电平变换器作为新一代适用于高电压大功率拓扑,能有效克服传统两电平变换器高谐波、高损耗、波形质量差等缺点,在工业及输电领域得到广泛应用。模块化多电平变换器的