【摘 要】
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依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,华中科技大学机械科学与工程学院,华中科技大学机械科学与工程学院 武汉430074,武汉理工大学机电工程学院,武汉430070,武汉430074,武汉430074
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依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。
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