柔性涡流阵列传感器在金属螺栓孔孔边裂纹监测中的失效模式及失效机理

来源 :无损检测 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gzlongzhijian
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柔性涡流阵列传感器在集成实施金属螺栓孔孔边裂纹监测的过程中,会受到结构装配应力、工作应力等因素的影响,为提高传感器的耐久性,进行了集成后的有限元应力分析和裂纹监测试验,研究了传感器的失效模式和失效机理。试验结果表明,传感器容易在被监测金属结构裂纹对应区域出现裂纹或者线圈导线断裂,且传感器裂纹的走向与被监测金属结构裂纹的走向基本一致;传感器与被监测金属结构之间的静摩擦力、被监测金属结构裂纹区域较大的应力和变形是导致传感器失效的主要原因。
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对某塑封器件进行破坏性物理分析(DPA),发现芯片表面存在玻璃钝化层裂纹和金属化层划伤的缺陷。对缺陷部位进行扫描电子显微镜(SEM)检查和能谱(EDS)分析,通过形貌和成分判断其形成原因为开封后的超声波清洗过程中,超声波振荡导致环氧塑封料中的二氧化硅填充颗粒碰撞挤压芯片表面,从而产生裂纹。最后,进行了相关的验证试验。研究结论对塑封器件的开封方法提出了改进措施,对塑封器件的DPA检测及失效分析(FA