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期刊论文
微几何量评定总则研究
微几何量评定总则研究
来源 :机械工业标准化与质量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jjjdddlll
【摘 要】
:
本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及
【作 者】
:
刘伟
张苹
丁红宇
【机 构】
:
机械科学研究总院中机生产力促进中心
【出 处】
:
机械工业标准化与质量
【发表日期】
:
2009年11期
【关键词】
:
MEMS
微几何量
评定
【基金项目】
:
本论文为国家高技术研究发展计划基金项目(项目编号2007AA04Z354)研究成果.
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本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论。
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