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化学试剂是微电子制造工艺中清洗工艺的重要材料。由于微电子制造对化学试剂的各项要求极高，在该制造业发展初期，国内中高端生产线以进口化学试剂为主。随着国内原材料厂商工艺能力的提高，各种国产化学试剂正逐步取代进口试剂。由于微电子制造对质量的要求，化学试剂国产化需要一个较长的过程。通过国产与进口氨水及双氧水在试剂纯度、单项工艺指标及能力、使用后的产品性能等方面作对比，得到了国产试剂可以取代进口试剂的结论。