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SOI技术步入实用化
SOI技术步入实用化
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tiandiren100
【摘 要】
:
本文介绍了SOI器件的优点、SOI晶圆市场、制备SOI的方法和SOI器件.
【作 者】
:
翁寿松
【机 构】
:
无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
绝缘硅
器件
市场
SOI Device Market
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本文介绍了SOI器件的优点、SOI晶圆市场、制备SOI的方法和SOI器件.
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