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在高速发展的现代科学技术中,作为信息产业基础的集成电路IC(Integrated Circuit)技术在经济中的地位越来越重要。目前,IC产业已经成为国民经济增长的主要支柱。世界国民生产总值增值部分的65%与IC技术有关。它对国民生产总值的贡献是计算机产业的2倍,是钢铁产业的2000倍。过去四十年来,IC技术一直按Moore定律持续高速地发展,并有望继续保持十年以上。VLSI(very—Large—Scale Integrated Circuits)作为现代IC技术的核心和基础,其发展速度远远超越了其它信