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PCVD法制取β—SiC超微粉末

来源 :化工冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fredzhuca

【摘 要】

：

本文以 CH₃SiCl₃为原料,利用 PCVD（Plasma Chemical Vapor Depo-sition）法制取了β—SiC 超微陶瓷粉末。平均粒径【0.1μm,SiC 含量可达到96%,氧含量可

【作 者】

：

郭家银 郑国梁 

【机 构】

：

中国科学院化工冶金研究所,中国科学院化工冶金研究所北京100080,北京100080

【出 处】

：

化工冶金

【发表日期】

：

1991年1期

【关键词】

：

Β-SIC 超微粉末 气相法 CH3SiCl3 Plasma Vapor-phase chemical reaction β-SiC ultrafine cer 

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本文以 CH₃SiCl₃为原料,利用 PCVD（Plasma Chemical Vapor Depo-sition）法制取了β—SiC 超微陶瓷粉末。平均粒径【0.1μm,SiC 含量可达到96%,氧含量可小于1.5%。实验探讨了粉末成分与诸因素关系;提供了粉末烧结性能的初步试验研究结果.

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