【摘 要】
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本改造主要是针对原产日本的CVD成膜设备进行控制系统改造,设备原系统为单片机控制系统,因软件损坏处于近报废状态.通过我们的改造,设备不仅可以正常运行,而且部分指标甚至超
【机 构】
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苏州大学 机电工程学院 苏州 215000;苏州大学 电子信息学院 苏州 215000;四川大学 计算机软件学院 成都 610000
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本改造主要是针对原产日本的CVD成膜设备进行控制系统改造,设备原系统为单片机控制系统,因软件损坏处于近报废状态.通过我们的改造,设备不仅可以正常运行,而且部分指标甚至超过了设备改造之前.整个改造主要分为硬件改造和软件编写两个方面,硬件改造方面将原有的控制板卡和IO板卡全部替换成PLC,且对部门硬件机构进行了优化,软件方面重新编写控制程序和上位机程序,成功实现了设备的整机改造.改造后的设备完全可以正常运行,且故障率极低,完全满足了我司的生产研发需求.
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